超萬小時(shí)隱秘實(shí)測(cè)，晉江電子源補(bǔ)齊國產(chǎn)化關(guān)鍵缺口

來源：芯榜晉江

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭加劇，核心零部件自主可控已成為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)突破的關(guān)鍵。熱場電子源——被稱為半導(dǎo)體量、檢測(cè)設(shè)備核心"心臟"的關(guān)鍵部件，長期被西方企業(yè)壟斷，不僅售價(jià)高昂、供貨周期漫長，更成為制約國內(nèi)先進(jìn)制程迭代的核心瓶頸，國產(chǎn)替代迫在眉睫。

為破解這一"卡脖子"難題，福建晉江依托千億級(jí)集成電路產(chǎn)業(yè)布局、超100億元產(chǎn)業(yè)基金及全鏈條人才扶持政策，集聚一眾科創(chuàng)企業(yè)深耕核心部件國產(chǎn)化。毫束科技創(chuàng)始人、總經(jīng)理張剛，便是其中的典型代表。他毅然放棄百萬年薪，帶隊(duì)從零起步、歷經(jīng)兩年攻堅(jiān)，成功突破高端電子源核心技術(shù)，自研產(chǎn)品經(jīng)過長期測(cè)試，獲得客戶認(rèn)可，現(xiàn)已悄然打入長鑫存儲(chǔ)供應(yīng)鏈，上演了一場中小科創(chuàng)企業(yè)突圍海外壟斷的國產(chǎn)替代突圍戰(zhàn)。

一顆電子源卡住整條產(chǎn)業(yè)鏈：國產(chǎn)化已是產(chǎn)業(yè)必答題

看似小巧的熱場電子源，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與高端科學(xué)儀器的核心命脈，堪稱設(shè)備"心臟"。它負(fù)責(zé)生成穩(wěn)定可控的高能電子束，其亮度、穩(wěn)定性、壽命與一致性，直接決定芯片制程精度、電鏡成像分辨率和產(chǎn)品檢測(cè)良率，是產(chǎn)業(yè)鏈不可或缺的核心部件。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，7nm及以下先進(jìn)制程中，傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)已無法識(shí)別納米級(jí)微觀缺陷，電子束檢測(cè)成為唯一可行方案，先進(jìn)芯片良率的提升，完全依托于高性能電子源的穩(wěn)定輸出。在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域，掃描電鏡、透射電鏡的檢測(cè)精度與分析能力，同樣由電子源性能決定，支撐著材料科學(xué)、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體失效分析等多個(gè)前沿領(lǐng)域的發(fā)展。

但目前國內(nèi)高端熱場電子源市場完全被海外巨頭壟斷，尤其是日本企業(yè)，核心技術(shù)、產(chǎn)品供給牢牢受制于人。對(duì)于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，電子源國產(chǎn)化早已不是"可選課題"，而是關(guān)乎產(chǎn)業(yè)自主可控的"生死命題"。立足這一產(chǎn)業(yè)剛需，毫束科技精準(zhǔn)聚焦熱場電子源賽道，全力攻堅(jiān)進(jìn)口替代。

百萬年薪毅然放手：技術(shù)人負(fù)重創(chuàng)業(yè)，扎根國產(chǎn)化賽道

創(chuàng)業(yè)之前，張剛是國內(nèi)頭部電子束量、檢測(cè)設(shè)備廠家東方晶源微電子科技有限公司（簡稱“東方晶源”）的核心技術(shù)專家，專攻電子光學(xué)方向，位列公司三位資深技術(shù)專家之一，年薪百萬，直接對(duì)接公司決策層，擁有旁人艷羨的穩(wěn)定優(yōu)質(zhì)崗位。

看似順?biāo)斓穆殬I(yè)之路，卻暗藏現(xiàn)實(shí)困境，也成為他創(chuàng)業(yè)的契機(jī)。"創(chuàng)業(yè)不是一時(shí)沖動(dòng)，是家庭和事業(yè)雙重因素推著我走的。"談及初心，張剛坦言滿是無奈。2021年入職東方晶源后，他希望愛人也能進(jìn)入同一家公司，方便照料家庭，雖獲公司董事長應(yīng)允，但后續(xù)多輪面試均未被錄用。"我愛人從原公司辭職后，半年沒找到合適的工作，要么工資太低，要么不交社保，最后只能在家?guī)Ш⒆印?

與此同時(shí)，曾在ASML工作的前同事向他拋出創(chuàng)業(yè)邀約，承諾產(chǎn)品研發(fā)成功后全力采購支持。而放眼國內(nèi)市場，高端熱場電子源完全被海外壟斷的空白賽道，更讓他堅(jiān)定了攻堅(jiān)國產(chǎn)替代的決心。2022年，張剛毅然從東方晶源辭職，創(chuàng)立北京毫束科技，聚焦高端熱場發(fā)射電子源自研，全力攻堅(jiān)這一核心卡脖子部件。張剛坦言："當(dāng)時(shí)國內(nèi)熱場電子源完全被國外卡脖子，沒人愿意深耕硬骨頭，但產(chǎn)業(yè)總得有人去突破，我想試一試。"

絕境試錯(cuò)攻堅(jiān)：自籌資金深耕，兩年磨技破瓶頸

創(chuàng)業(yè)初期艱難重重，首當(dāng)其沖的便是資金危機(jī)。原定300萬投資臨時(shí)變故，投資方不僅無法履約打款，還希望空持股份合作。絕境之下，張剛拿出數(shù)百萬全部積蓄，在北京亦莊租廠房、購置設(shè)備、搭建研發(fā)場地，在沒有政策支持下，獨(dú)自扛起創(chuàng)業(yè)重?fù)?dān)。

技術(shù)研發(fā)的難度遠(yuǎn)超預(yù)期。初代產(chǎn)品存在壽命短、電子束發(fā)射不穩(wěn)定、突發(fā)停機(jī)等諸多問題，售后返修、迭代調(diào)試成為常態(tài)。"那時(shí)候最怕客戶打電話，一接電話準(zhǔn)是出問題了。退回來改，改完再發(fā)過去，前后折騰了數(shù)次，終于在2024年把產(chǎn)品做成熟了。"創(chuàng)業(yè)兩年間，張剛未領(lǐng)一分工資，妻子外出務(wù)工補(bǔ)貼家用，他一人兼顧研發(fā)攻堅(jiān)與家庭瑣事，默默堅(jiān)守國產(chǎn)化初心。張剛表示："做核心零部件研發(fā)沒有捷徑，只能靠一次次試錯(cuò)、一次次迭代，熬過去就是曙光。"

2024年末，事業(yè)與家庭的雙重困境迎來轉(zhuǎn)機(jī)。因北京無戶口，孩子入學(xué)難題無法解決，而彼時(shí)晉江正全力布局集成電路產(chǎn)業(yè)，完善的人才、產(chǎn)業(yè)、教育配套政策，精準(zhǔn)解決了創(chuàng)業(yè)者的后顧之憂。張剛果斷舉家南遷，扎根晉江專心深耕技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)品迭代。"在北京干著解決'卡脖子'的事，結(jié)果自己孩子連學(xué)都上不了，心里特別不是滋味。晉江不僅解決了后顧之憂，更給了創(chuàng)業(yè)者安心搞研發(fā)的沃土。"

萬小時(shí)隱秘實(shí)測(cè)：打破行業(yè)偏見，用數(shù)據(jù)印證國產(chǎn)實(shí)力

國產(chǎn)設(shè)備落地量產(chǎn)，最大阻礙從來不是技術(shù)，而是行業(yè)普遍存在的畏錯(cuò)心態(tài)。晶圓廠為規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)、避免擔(dān)責(zé)，普遍偏好成熟進(jìn)口設(shè)備，不愿為國產(chǎn)新品提供測(cè)試試錯(cuò)機(jī)會(huì)，這也是本土設(shè)備企業(yè)成長緩慢的核心痛點(diǎn)。張剛對(duì)此深有感觸："國產(chǎn)技術(shù)不是做不出來，而是缺少落地試錯(cuò)的場景，沒有實(shí)測(cè)打磨的機(jī)會(huì)，永遠(yuǎn)無法追趕進(jìn)口產(chǎn)品。"

2024年4月，毫束科技陷入"有技術(shù)、無場景"的困境，大廠不愿測(cè)試，團(tuán)隊(duì)只能另辟蹊徑，通過第三方渠道尋求落地機(jī)會(huì)。張剛與國內(nèi)一家半導(dǎo)體設(shè)備維保企業(yè)對(duì)接，免費(fèi)送出自研電子源產(chǎn)品測(cè)試。對(duì)方工程師實(shí)測(cè)確認(rèn)性能穩(wěn)定后，未告知終端晶圓廠家設(shè)備搭載了國產(chǎn)部件，直接將設(shè)備送入中芯國際產(chǎn)線投入常態(tài)化運(yùn)行。這場隱秘的實(shí)測(cè)，一跑便是兩年。設(shè)備24小時(shí)不間斷滿負(fù)荷運(yùn)行，累計(jì)時(shí)長突破16000小時(shí)，全程性能穩(wěn)定、表現(xiàn)對(duì)標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品，終端廠家始終未察覺這是一款純國產(chǎn)自研電子源。

一年后，張剛主動(dòng)對(duì)接終端廠家，坦誠說明產(chǎn)品自研身份。對(duì)方震驚之余啟動(dòng)第三方核查，而此前合作的第三方工程師因利益分歧，不僅否認(rèn)事實(shí)、將毫束科技拉黑，中斷了合作。即便外部合作受阻，毫束科技的電子源依舊在產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行，用數(shù)據(jù)證明實(shí)力。

截至2026年5月，這支初代國產(chǎn)電子源已持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行超兩年，累計(jì)時(shí)長突破16000小時(shí)。行業(yè)電子源常規(guī)質(zhì)保期僅1年、使用壽命1—3年，而毫束科技產(chǎn)品的穩(wěn)定性、耐用性遠(yuǎn)超行業(yè)均值。該廠區(qū)產(chǎn)線十幾臺(tái)其他設(shè)備搭載的電子源均為日本進(jìn)口產(chǎn)品，僅毫束科技1款為國產(chǎn)，全程零異常。

無需宣傳造勢(shì)，長達(dá)16000小時(shí)的不間斷穩(wěn)定運(yùn)行，就是這款國產(chǎn)關(guān)鍵部件最硬核的實(shí)力證明。央視財(cái)經(jīng)《對(duì)話》欄目中，張汝京與尹志堯也曾分享國產(chǎn)設(shè)備的成長內(nèi)核：本土技術(shù)的突破，離不開產(chǎn)業(yè)鏈包容試錯(cuò)、分步迭代的培育邏輯。中芯國際與中微半導(dǎo)體正是依靠上下游協(xié)同扶持、實(shí)戰(zhàn)打磨迭代的模式，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)設(shè)備的規(guī)模化落地。兩位行業(yè)前輩多次呼吁，行業(yè)需打破固有偏見，為國產(chǎn)設(shè)備留出試錯(cuò)與成長空間，讓技術(shù)在真實(shí)產(chǎn)線中查漏補(bǔ)缺、迭代升級(jí)——這也正是毫束科技堅(jiān)持長期實(shí)測(cè)、深耕產(chǎn)品打磨的核心意義。

主動(dòng)破局拓市：從測(cè)試碰壁到切入頭部大廠供應(yīng)鏈

依托長期實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)背書，2025年5月，張剛不再被動(dòng)等待，主動(dòng)開啟全國拓客之路。5天輾轉(zhuǎn)上海、無錫、合肥、武漢等五城，對(duì)接12家潛在客戶，全力為國產(chǎn)技術(shù)爭取落地場景，最終成功對(duì)接合肥長鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司。

國產(chǎn)新品的落地之路依舊坎坷。2025年6月，毫束科技產(chǎn)品首次入駐合肥Fab廠先進(jìn)制程產(chǎn)線測(cè)試，因細(xì)微的電子束偏差問題未能達(dá)標(biāo)，對(duì)方出于風(fēng)險(xiǎn)考量建議更換進(jìn)口電子源。首次測(cè)試失利，是所有國產(chǎn)新設(shè)備迭代路上的必經(jīng)之路。張剛坦言："一次失敗不代表國產(chǎn)技術(shù)不行，只能說明我們還有優(yōu)化空間，每一次測(cè)試失利，都是產(chǎn)品升級(jí)的機(jī)會(huì)。"

張剛并未放棄，從材料源頭單晶鎢開始，逐個(gè)審查每個(gè)工藝參數(shù)，針對(duì)性優(yōu)化電子源能散、發(fā)射角后，于同年8月在該廠成熟制程產(chǎn)線再次測(cè)試。此次產(chǎn)品性能全程穩(wěn)定，連續(xù)運(yùn)行超8個(gè)多月，直至2026年3月因設(shè)備檢修、廠家消耗進(jìn)口庫存才被動(dòng)換下。憑借穩(wěn)定的實(shí)測(cè)表現(xiàn)，長鑫存儲(chǔ)正式將毫束科技納入國產(chǎn)替代供應(yīng)商名錄，為其切入主流晶圓廠市場打通關(guān)鍵通道。

扎根晉江深耕：穩(wěn)扎穩(wěn)打穩(wěn)步奪回海外壟斷市場

當(dāng)前國內(nèi)電子源國產(chǎn)替代市場空間極為廣闊。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，國內(nèi)12英寸晶圓廠電子束檢測(cè)設(shè)備核心部件幾乎全部依賴進(jìn)口，年需求超千支；在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域，國內(nèi)每年進(jìn)口電鏡超千臺(tái)，對(duì)應(yīng)的電子源耗材市場規(guī)模也相當(dāng)可觀。長期以來，這塊高剛需、高價(jià)值的市場，完全被海外企業(yè)壟斷。

毫束科技自研的電子源，性能全面對(duì)標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品，性價(jià)比與本土化服務(wù)優(yōu)勢(shì)突出。長鑫存儲(chǔ)已將公司納入供應(yīng)商體系，后續(xù)商業(yè)化落地空間廣闊，整體發(fā)展路徑清晰可期。

扎根晉江，是毫束科技立足長遠(yuǎn)的戰(zhàn)略選擇。當(dāng)?shù)匾鸭蹡|京電子、北方華創(chuàng)、華海清科等國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備頭部企業(yè)，搭配本土維保服務(wù)商，形成了配套完善、協(xié)同聯(lián)動(dòng)的集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)。完善的上下游配套、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)業(yè)政策，為毫束科技的技術(shù)迭代、市場落地提供了絕佳沃土。

秉持"穩(wěn)扎穩(wěn)打、品質(zhì)為先"的發(fā)展理念，堅(jiān)持循序漸進(jìn)打磨產(chǎn)品與服務(wù)。待現(xiàn)有客戶產(chǎn)品完成兩年全周期實(shí)測(cè)、積累充足驗(yàn)證數(shù)據(jù)后，再逐步拓展至更多晶圓廠及設(shè)備廠商。張剛表示："核心零部件拼的是品質(zhì)和穩(wěn)定性，快就是慢、慢就是快，扎實(shí)打磨好每一款產(chǎn)品，才是國產(chǎn)替代的根本。"

隨著2026年晉江頭部集成電路企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)落地，區(qū)域產(chǎn)業(yè)勢(shì)能持續(xù)釋放，毫束科技或迎來全新發(fā)展機(jī)遇。談及未來，張剛的愿景樸素而堅(jiān)定：接下來需要解決單晶鎢的國產(chǎn)替代，我們采購單晶鎢已經(jīng)受限，通過第三方貿(mào)易公司進(jìn)口的單晶鎢，品質(zhì)較差，嚴(yán)重影響束流發(fā)射穩(wěn)定性和壽命，因此往往需要進(jìn)口一堆單晶鎢，然后從中挑著用。

沒有轟轟烈烈的宣言，只有深耕實(shí)業(yè)的堅(jiān)守。從無人敢試的國產(chǎn)新品，到萬小時(shí)穩(wěn)定運(yùn)行的硬核科技，再到大廠認(rèn)可的主力供應(yīng)商，毫束科技的突圍之路，是國內(nèi)無數(shù)半導(dǎo)體科創(chuàng)企業(yè)的縮影。在產(chǎn)業(yè)鏈包容試錯(cuò)、協(xié)同攻堅(jiān)的大趨勢(shì)下，越來越多的國產(chǎn)硬核技術(shù)正在打破海外壟斷，一步步筑牢中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控的堅(jiān)實(shí)根基。