事關EUV光刻機出口:美國疑神疑鬼,把荷蘭ASML整不會了?這事兒說起來真有點荒誕。6月19號,新聞媒體援引彭博社爆出一條消息:美國商務部長盧特尼克私下告訴ASML高層,說你們家一臺EUV光刻機可能已經跑到中國去了。ASML當場就懵了,趕緊聲明:我們從來沒往中國發過EUV機器,連專門給EUV用的零件都沒發過。
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但盧特尼克那幫人不依不饒。據說今年4月的一場閉門會上,這位商務部長就當面把這事兒甩給了ASML的CEO富凱。會上吵成什么樣外人不知道,反正會后倆人在社交媒體上發的都是歲月靜好,對EUV的事一個字沒提。私下里ASML已經啟動了危機模式。
ASML這回是真急了。你想想,一家公司被指控干了一件他壓根沒干過的事,還得證明自己沒干過,這活兒怎么干?ASML硬著頭皮上了,掏出了一份文件,標題就叫《沒有任何跡象表明ASML EUV系統在中國大陸》。
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文件里列了一堆數據:全球目前有314臺EUV在運行,26臺退役了,中國境內數量是零。還解釋了一堆技術原因:EUV機器跟校車一樣大,重180噸;產量極其有限;需要ASML工程師持續維護;機器里有自動檢測系統,客戶自己根本拆不了、搬不走。
ASML的CEO富凱本人5月接受采訪時也說得很直白:你沒法逆向工程一臺你從沒擁有過的機器,而中國沒人擁有過它。
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邏輯上沒毛病吧?但美國那幫官員說,我們有證據。什么證據呢?說ASML往中國出口了專門運輸EUV的特殊設備,還有EUV能用的零部件。記者追問:那你們到底有沒有EUV已經在中國境內的實錘?對方說,信息太敏感,不能透露。再問:既然真有證據,為啥不采取懲罰措施?對方直接不回答了。
這就很有意思了。你說你有證據,但就是不給看;你說人家違規了,但也不動手收拾。這操作,擱誰誰不迷糊?
其實明眼人都看得出來,這出戲醉翁之意不在酒。美國真正想要的根本不是抓ASML現形,而是借著這波施壓,逼ASML在接下來的談判桌上作出更多讓步。美國半導體設備制造商一直在抱怨,說荷蘭和日本的對華限制比美國松,搞得他們生意不好做。美國那邊還在推法案,想進一步收緊ASML的脖子,連浸沒式DUV都想禁掉。那可是ASML大約20%的預期營收。
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而ASML這邊,股價6月18號單日跌了3.31%。市場已經在用腳投票了。
說到底,這事兒最諷刺的地方在哪?在于美國一邊拼命封鎖中國,一邊又草木皆兵到懷疑自己親手建立的封鎖體系已經漏了風。ASML被夾在中間,左也不是右也不是——聽美國的,丟了中國市場;不聽美國的,連歐洲總部都可能被整。
荷蘭外交部倒是說了句公道話,說荷蘭極其嚴格地執行出口限制。但這話在美國那兒能頂多大用,難說。
至于我們這邊,不管EUV到底進沒進來,自研的腳步從來沒停過。路透社去年12月就報道過,中國科研團隊在多名ASML前工程師參與下搞出了一套EUV原型機。靠別人施舍從來不是出路,自己手里有家伙才是硬道理。
這場羅生門最后怎么收場,沒人知道。但有一件事是確定的:美國越是這樣風聲鶴唳、有罪推定,就越說明他們心里清楚,封鎖的墻,正在一點一點裂開。
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