美國懷疑中國有進口EUV光刻機，ASML徹查314臺EUV后表示根本沒有

前沿導讀

據(jù)《電子技術應用》內(nèi)容指出，美國商務部長盧特尼克在會議中對ASML提出質(zhì)疑，認為其違規(guī)出口給中國企業(yè)EUV光刻機。該質(zhì)疑遭到了ASML的否決，并且ASML在之前已經(jīng)向美方提供了一份文件，文件指出ASML在全球運行的EUV光刻機總共有314臺，其中26臺已經(jīng)退役，沒有任何一臺EUV光刻機處于中國大陸地區(qū)。

出口管制

ASML在反駁美國質(zhì)疑的同時，還指出EUV的體量龐大，重量達到了180噸，相當于一輛雙層巴士。該設備產(chǎn)能有限，而且只有ASML官方人員懂得如何使用設備，機器內(nèi)部設有自動檢測系統(tǒng)，有任何中斷、異常行為都可以被實時追蹤。未經(jīng)ASML官方人員介入操作，客戶無法自行移動、搬遷EUV系統(tǒng)。

ASML現(xiàn)任CEO克里斯托弗·富凱（傅恪禮）在5月份的采訪中也表達了一樣的觀點，富凱稱公司內(nèi)部早已經(jīng)建立了技術防火墻，中國員工無法接觸到EUV的核心技術板塊。而且對于中國工程師逆向EUV的輿論，富凱也反駁稱：“你無法逆向工程一臺你從未擁有的機器，而中國大陸沒人擁有過它。”

“逆向光刻機”這個概念，在整個產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷史上有過成功的先例，但是只限于早年間的步進光刻機。

尼康的第一款光刻機NSR-1010G，就是采用逆向工程從美國GCA（地球物理公司）手中“搶奪”來的制造技術。

當時美國GCA是光刻機市場的龍頭，其全球市場常年保持50%以上的占有率。這種較高的市場占比，讓GCA開始逐步自大并慢待國際客戶。

很多時候都是優(yōu)先供應美國芯片企業(yè)，而國外企業(yè)簽訂的采購訂單一拖再拖，哪怕是國外企業(yè)的訂單時間比美國企業(yè)更早，GCA也是優(yōu)先供應美國本土客戶。

隨后日本尼康進入市場，通過日本電氣公司（NEC）向GCA采購了一臺光刻機，緊接著尼康對這臺光刻機進行拆解分析，掌握了內(nèi)部的制造技術。本身尼康就可以制造光學鏡頭，這直接讓尼康順利開發(fā)出了光刻機設備。

而ASML制造的EUV光刻機無論是軟件技術水平，還是各個子系統(tǒng)的開發(fā)邏輯，均是整個產(chǎn)業(yè)內(nèi)最精密的工程業(yè)務，集合了全球頂級資源完成制造，其復雜程度完全不是當年GCA和尼康的設備所能相比的。

光是EUV的曝光系統(tǒng)，全球只有蔡司能提供，并且蔡司已經(jīng)在EUV曝光領域申請了超過1500項技術專利，這些專利是后來者很難逾越的大山。

在沒有證據(jù)的情況下說中國團隊逆向EUV光刻機是非常不合理的行為，好像中國團隊正在用一種行業(yè)“敏感”的技術方法開發(fā)設備，這完全是造謠行為。

開發(fā)技術

在美國持續(xù)對ASML施壓，禁止其向中國出口光刻機，并且對中國本土技術實施限制的同時，美國也在同步推進自己的EUV發(fā)展。

2025年10月，美國初創(chuàng)公司Substrate宣布推出一款新型芯片制造設備，準備在先進光刻設備領域跟荷蘭ASML競爭。其公司CEO表示，推出設備只是第一步，下一步便是在美國建立芯片制造工廠，挑戰(zhàn)臺積電在先進制程領域的龍頭地位。

12月，美國對本土初創(chuàng)企業(yè)xLight投資1.5億美元，美國商務部將獲得該公司股權，成為最大股東。xLight的目標并非是打造光刻機整機，而是在激光器領域?qū)崿F(xiàn)技術突破。試圖開發(fā)出能耗更低、光源更穩(wěn)定的激光器，并計劃將其接入ASML或其他廠商的光刻系統(tǒng)當中。

在持續(xù)推進美國本土EUV發(fā)展的同時，match法案的提出也進一步擴大對中國企業(yè)的限制。不僅限制ASML對5家中國企業(yè)出口所有的浸潤式DUV光刻機，而且還施壓東京電子等企業(yè)一起對中國企業(yè)實施禁令，禁止向5家中國企業(yè)提供所需的制造設備。

這種“一只手掐住對方咽喉，另一只手給盟友遞刀子”的行為，完全是在影響全球半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

ASML CEO此前表示，過于收緊光刻機對中國市場的出口管制，將會加速中國自主研發(fā)替代設備的步伐。

這句話并不是ASML CEO隨口一說的外交話術，而是有實質(zhì)性信息依賴的。

陳南翔、王陽元、趙晉榮等中國半導體產(chǎn)業(yè)一線人物在2026年科技導報的產(chǎn)業(yè)報告上面提到，上海微電子制造的浸潤式DUV光刻機已進入測試階段，其他本土企業(yè)的國產(chǎn)設備也都在穩(wěn)步的推進當中，發(fā)展情況良好。

“實體清單”正在倒逼中國企業(yè)開發(fā)自主可控的國產(chǎn)設備，而美國持續(xù)對中國企業(yè)實施進口設備的出口管制，恰恰為中國的國產(chǎn)設備提供了一個非常合適的市場化條件。有了購買市場，設備才能運行起來，只有設備運行起來，才能找到其中的不足進行優(yōu)化，一步步提升國產(chǎn)設備的技術指標。