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7月7日消息,據報道,為應對臺積電與三星即將推出的1.4納米級芯片技術,英特爾計劃在標準的14A工藝基礎上,推出一項名為14A2(即14A Gen2)的改良版制程。
針對14A2工藝,英特爾考慮在原定背部供電的基礎上,同時保留部分前部供電,形成前后雙側供電方案,以應對更先進制程下互連尺寸進一步縮小帶來的技術挑戰。
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此外,英特爾計劃在14A工藝中采用名為PowerDirect的背部供電技術,將供電網絡轉移至晶圓背面。在作為半節點升級版本的14A2工藝上,英特爾計劃進一步縮小最低金屬互連層M0間距。
目標是從14A的約28納米壓縮至約21納米,以提升晶體管密度并提高High-NA EUV光刻設備的經濟性。
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按照路線圖,英特爾計劃于2026年10月向外部客戶提供14A工藝0.9版本工藝設計套件,隨后爭取在18個月內獲得大型無晶圓廠芯片設計企業的訂單。2028年啟動風險試產、2029年實現量產。
與此同時,臺積電A14晶圓廠預計2027年底試產、2028年下半年量產。三星則計劃2029年量產1.4納米工藝。三巨頭將在1.4納米節點正面交鋒。
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