甘肅
參考來源：央視財經報道
所有人都在盯著光刻機，卻很少有人知道，在刻蝕機這個同樣決定芯片生死的核心領域，其實我們不僅徹底打破了海外壟斷，還首創(chuàng)了全球通用的核心技術，讓泛林、應用材料、東京電子這些曾經不可一世的行業(yè)霸主，全都乖乖抄起了我們的作業(yè)。
5月17日在《央視財經》播出的“對話”中，中國刻蝕機之父尹志堯表示：中微公司首創(chuàng)的甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術，三年后被國際三大設備公司全部效仿，現(xiàn)在全球100%的CCP（電容耦合等離子體設備）刻蝕機都采用這一技術。
而創(chuàng)造這個奇跡的，就是今年82歲的尹志堯。
誰能想到，如今市值突破2714億元、設備打進臺積電3nm先進制程的中微公司，是尹志堯在60歲那年，放棄美國百萬年薪，帶著一群工程師用空白電腦從零開始建起來的。
當年他從美國回國，所有員工不許帶任何技術文件，連電腦都是空的，真正是白手起家。那時候全球刻蝕機市場被三家海外廠商牢牢把控，沒人相信中國人能造出頂尖的刻蝕機，更別說首創(chuàng)什么核心技術。
尹志堯先生憑借資深的專業(yè)能力，帶著團隊死磕了三年，搞出了甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術。
這項技術有多厲害？它直接解決了傳統(tǒng)刻蝕機精度不夠、效率低下的難題，讓芯片刻蝕的精度和良率都上了一個大臺階。
三年之后，國際三大設備廠商全都開始效仿這項技術，到今天，全球100%的電容耦合等離子體刻蝕機，用的都是中國人首創(chuàng)的這套技術。
除此之外，中微首創(chuàng)的雙臺機設計，能同時刻蝕兩片硅片，直接節(jié)省大量的材料成本，性能還比進口設備更好，價格卻便宜一大截。
中微的第一臺設備，是張汝京博士帶頭在中芯國際試產的。那時候沒人敢用國產設備，張汝京頂著巨大的壓力做了第一個吃螃蟹的人，結果一試就成了。
正是這次成功，給了中微走出國門的信心，一步步打進了臺積電的供應鏈，從28nm到7nm，再到現(xiàn)在的5nm、3nm，中微的刻蝕機已經成了臺積電先進制程產線上不可或缺的核心設備。
更厲害的還在后面。
中微決定進軍大平板設備領域，這個領域此前有17種工藝設備全部依賴進口，一臺設備重達150噸，有兩層半樓高，業(yè)內普遍認為開發(fā)這樣的設備至少需要3到7年。可中微的團隊只用了12個月就做出了可運轉的樣機，不到4個月就達到了客戶下一代產品的要求，18個月就把設備運到了生產線上并通過核準，再次創(chuàng)造了中國速度。
很多人總覺得中國半導體只能跟在別人后面跑，可尹志堯和中微的歷程說明，中國人不僅能追上，還能領先，還能讓別人抄我們的作業(yè)。
刻蝕機不是個例，在刻蝕、沉積、清洗等多個半導體設備環(huán)節(jié)，我們都已經實現(xiàn)了關鍵突破，國產設備的整體自給率正在以每年10個百分點的速度提升。
尹志堯今年已經82歲了，他用22年的時間，把一個從零開始的小公司，做成了全球頂尖的半導體設備巨頭，還恢復了中國國籍。沒有什么技術是中國人搞不出來的總有一天，我們會把所有卡脖子的環(huán)節(jié)，一個個變成我們的長板。
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