國內(nèi)第一！江蘇半導(dǎo)體設(shè)備龍頭沖刺IPO：大基金三期持股，擬募資25億

芯東西（公眾號：aichip001）
作者 劉煜
編輯 陳駿達

芯東西7月1日報道，昨日，半導(dǎo)體前道設(shè)備供應(yīng)商江蘇魯汶儀器股份有限公司（簡稱“魯汶儀器”）科創(chuàng)板IPO申請獲上交所受理。

魯汶儀器于2015年9月11日成立，注冊地址位于江蘇省邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，是國家級重點專精特新“小巨人”企業(yè)。

本次IPO發(fā)行前，國投集新（國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期股份有限公司出資99.9%）與中科院微電子所分別持有魯汶儀器7.29%的股份和2.98%的股份，長存產(chǎn)業(yè)基金（長存資本聯(lián)合出資設(shè)立的私募股權(quán)投資基金）則持有該公司2.58%的股份。

魯汶儀器從事于半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要為集成電路制造產(chǎn)業(yè)提供裝備和工藝解決方案。該公司通過自研獨有技術(shù)，形成了以離子束設(shè)備和電感耦合（ICP）等離子體刻蝕設(shè)備為核心，化學(xué)氣相沉積設(shè)備和氣相分解金屬沾污收集設(shè)備為輔的多品類產(chǎn)品矩陣。

魯汶儀器的刻蝕設(shè)備LMEC-300已被列入2022年江蘇省首臺（套）重大裝備名單，根據(jù)江蘇省機械行業(yè)協(xié)會出具的新產(chǎn)品鑒定證書，該公司整體技術(shù)處于國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平。

同時，該公司是繼國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)和中微公司后，國內(nèi)少有的自研12英寸刻蝕設(shè)備并實現(xiàn)主流客戶驗證和復(fù)購的國內(nèi)企業(yè)。中科院、深圳重大產(chǎn)業(yè)集團、光學(xué)零件及光電產(chǎn)品制造龍頭舜宇光學(xué)、XR光學(xué)龍頭歌爾光學(xué)及碳化硅芯片制造和研發(fā)企業(yè)芯粵能都是魯汶儀器的客戶。

根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2025年魯汶儀器在中國離子束設(shè)備市場占有率為28.4%，排名第一，其他主要企業(yè)均為境外廠商。

另外，魯汶儀器曾在2023年啟動上市輔導(dǎo)，但未形成申報；后于2026年重新啟動輔導(dǎo)并正式向上交所科創(chuàng)板遞交材料，本次是其首次進入交易所審核流程。

魯汶儀器本次IPO的擬募資金額為25億元。其中，13.65億元將用于投資魯汶儀器研發(fā)總部和制造基地項目，11.35億元將投入集成電路裝備研發(fā)項目。

一、三年營收超11億，離子束設(shè)備毛利率更高

2023年、2024年和2025年，魯汶儀器的營收分別為2.07億元、2.68億元和6.99億元，兩年間增長約237.8%，三年營收總計超11億元；凈利潤分別為-1.15億元、-2.1億元和-2.12億元；研發(fā)費用分別為1.2億元、1.83億元和2.38億元。

▲魯汶儀器營收、凈利潤及研發(fā)費用變化（芯東西制圖）

報告期內(nèi)，魯汶儀器主營業(yè)務(wù)收入由離子束設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備和其他設(shè)備構(gòu)成，其他設(shè)備主要為CVD設(shè)備和VPD設(shè)備。

其中，離子束設(shè)備分別貢獻了0.51億元、0.42億元和2.08億元的營收，分別占總營收的25.97%、16.59%和30.9%；ICP刻蝕設(shè)備則分別貢獻了0.65億元、1.13億元和3.9億元的營收，均超過離子束設(shè)備貢獻的收入，分別占總營收的33.28%、44.8%及57.94%。

同期，其他設(shè)備分別貢獻了0.8億元、0.98億元及0.75億元的營收，占總營收的比重分別為40.75%、38.61%和11.17%。

報告期內(nèi)，魯汶儀器離子束設(shè)備和ICP刻蝕設(shè)備的合計收入占比整體呈上升趨勢，兩類產(chǎn)品收入占比合計已從2023年的59.25%提高至2025年的88.83%，是該公司目前的主力產(chǎn)品。

▲魯汶儀器主營業(yè)務(wù)收入變化（芯東西制圖）

報告期內(nèi)，魯汶儀器主營業(yè)務(wù)的毛利率分別為33.05%、18.27%和24.13%。其中，離子束設(shè)備的毛利率分別為51.98%、40.74%及54.57%，均高于ICP刻蝕設(shè)備與其他設(shè)備。

2024年，魯汶儀器主要向光學(xué)、MEMS等特色工藝產(chǎn)業(yè)客戶和科研院所銷售8英寸離子束設(shè)備。當(dāng)年收入規(guī)模和腔室銷量均較少，部分機臺毛利率水平相對較低，導(dǎo)致當(dāng)年離子束設(shè)備的毛利率同比2023年有所下降。

同年，ICP刻蝕設(shè)備的毛利率為負，是因為該公司配置和成本更高的12英寸新產(chǎn)品實現(xiàn)驗收確收，當(dāng)年銷售給客戶E的設(shè)備為首臺驗證機臺，魯汶儀器給予了該客戶相應(yīng)價格優(yōu)惠。

魯汶儀器主營業(yè)務(wù)毛利率變化情況如下所示：

報告期內(nèi)，魯汶儀器主營業(yè)務(wù)毛利率水平較同行業(yè)可比公司平均水平較低，主要因為該公司經(jīng)營規(guī)模較同行業(yè)可比公司小，切入主流客戶時間相對較晚，新進入供應(yīng)商驗證周期長、售價相對折讓，疊加該公司ICP刻蝕設(shè)備銷售占比較大，但缺乏先發(fā)優(yōu)勢，毛利率水平較低。

二、研發(fā)人員占比為44.38%，部分設(shè)備已達國際主流廠商同類設(shè)備水平

魯汶儀器的產(chǎn)品矩陣以離子束設(shè)備和ICP刻蝕設(shè)備為核心，CVD設(shè)備和VPD設(shè)備為輔，產(chǎn)品包括12英寸離子束塑形設(shè)備、12英寸ICP刻蝕設(shè)備以及8英寸CVD設(shè)備等。

其中，該公司開發(fā)的離子束設(shè)備以及基于該設(shè)備開發(fā)的晶圓圖案塑形工藝、晶圓表面超平坦化工藝以及AR用傾斜光柵工藝方面均已達到國際廠商同類設(shè)備水平，部分參數(shù)優(yōu)于國際廠商。

同時，該公司12英寸ICP刻蝕設(shè)備已達到國際主流廠商同類設(shè)備水平。以魯汶儀器12英寸金屬ICP刻蝕設(shè)備為例，其與國際同類設(shè)備性能指標對比情況如下：

魯汶儀器擁有北京魯汶、上海魯汶2家境內(nèi)全資子公司，以及比利時子公司1家境外全資子公司和魯汶武漢分公司1家分公司。截至2025年12月31日，魯汶儀器擁有研發(fā)人員233人，占當(dāng)年員工總?cè)藬?shù)的44.38%。

截至報告期末，魯汶儀器共擁有境內(nèi)外專利407項，其中發(fā)明專利合計273項。同時，該公司還獲得“IC創(chuàng)新獎”之技術(shù)創(chuàng)新獎等榮譽，并承擔(dān)多項國家發(fā)改委、部委A、科技部高端裝備項目。

三、前五大客戶收入占比逐年抬升，與部分客戶存在股權(quán)投資關(guān)聯(lián)

報告期內(nèi)，魯汶儀器主營業(yè)務(wù)收入主要來自存儲、邏輯、特色工藝晶圓廠及光學(xué)顯示的產(chǎn)業(yè)客戶，少量主營業(yè)務(wù)收入來自于高校、科研機構(gòu)及其指定的貿(mào)易商，系買斷式貿(mào)易商銷售。

報告期各期，魯汶儀器對前五大客戶的銷售收入占營業(yè)收入的比例分別為53.03%、44.89%和72.86%。同期，該公司與前五大客戶均具有較為穩(wěn)定的合作關(guān)系，不存在向單個客戶的銷售占比超過50%的情形。

同期，中科院、客戶B和舜宇光學(xué)存在其關(guān)聯(lián)方投資魯汶儀器的情形，除此之外，魯汶儀器與報告期內(nèi)前五大客戶不存在其他關(guān)聯(lián)關(guān)系。

魯汶儀器的前五大客戶如下：

報告期各期，魯汶儀器主要向供應(yīng)商采購真空系統(tǒng)類、機械類以及電氣類等原材料，包括集成閥、門閥、金屬加工件、靜電吸盤、離子源及附件等。

該公司向前五大供應(yīng)商采購的占比分別為33.25%、25.62%和29.76%，不存在向單個供應(yīng)商采購比例超過采購總額50%的情形，與前五大供應(yīng)商之間也不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。

魯汶儀器的前五大供應(yīng)商如下：

四、創(chuàng)始人畢業(yè)于北大，控制魯汶儀器25.11%的表決權(quán)

魯汶儀器的股權(quán)結(jié)構(gòu)如下圖所示：

魯汶儀器創(chuàng)始人、董事長、總經(jīng)理是許開東。比利時魯汶及其一致行動人合計控制魯汶儀器25.11%的股份，許開東則通過比利時魯汶合計控制魯汶儀器25.11%股份對應(yīng)的股東會表決權(quán)，他是魯汶儀器的實際控制人。

▲圖為許開東（圖源：SEMICON China）

許開東今年約49歲，是比利時國籍，先后畢業(yè)于北京大學(xué)、比利時魯汶大學(xué)，分別獲化學(xué)學(xué)士學(xué)位及博士學(xué)位。

2004年11月，許開東在奧地利泛林集團擔(dān)任資深研發(fā)經(jīng)理，任職約6年。從奧地利泛林離職后的5年里，他歷任歐洲微電子研究所（IMEC）等離子體刻蝕組的研發(fā)主管及經(jīng)理。

許開東在國內(nèi)外半導(dǎo)體業(yè)界和研究機構(gòu)擁有20多年的研發(fā)和管理經(jīng)驗，涉足包括28nm及以下多個技術(shù)節(jié)點的邏輯電路和存儲器制造工藝中的離子束塑形和等離子體刻蝕技術(shù)。他還作為發(fā)明人累計獲得國內(nèi)外發(fā)明專利200余項。

在魯汶儀器創(chuàng)立早期，許開東研發(fā)了結(jié)合離子束塑形和等離子體刻蝕技術(shù)的特種金屬膜層刻蝕設(shè)備，為MRAM新興存儲器器件中核心結(jié)構(gòu)磁隧道結(jié)制造所遇到的特種金屬膜層銑削技術(shù)難題，提供了解決方案。

在魯汶儀器發(fā)展過程中，許開東帶領(lǐng)團隊基于特種金屬膜層刻蝕設(shè)備的不同工藝腔室陸續(xù)開發(fā)了具有技術(shù)特色的離子束塑形設(shè)備和ICP等離子體刻蝕設(shè)備，以及VPD設(shè)備。其中，特種金屬膜層刻蝕設(shè)備、離子束塑形設(shè)備分別獲得第六屆及第七屆“IC技術(shù)創(chuàng)新獎”。

報告期內(nèi)，魯汶儀器董事、監(jiān)事、高級管理人員及核心技術(shù)人員薪酬總額分別為589.1萬元、760.73萬元和905.11萬元。

結(jié)語：連續(xù)3年虧損，前道設(shè)備國產(chǎn)化仍在驗證周期中

現(xiàn)階段，魯汶儀器受經(jīng)營規(guī)模、客戶導(dǎo)入周期、新品驗證讓利等因素影響，連續(xù)3年尚未實現(xiàn)盈利，整體毛利率相較行業(yè)頭部企業(yè)仍存在差距。

本次25億的募資若順利落地，該公司有望進一步放大產(chǎn)能、完善技術(shù)迭代能力。后續(xù)魯汶儀器能否依托資本市場持續(xù)縮小與國際廠商差距、改善盈利水平，或與其下游晶圓廠設(shè)備采購節(jié)奏、國產(chǎn)設(shè)備導(dǎo)入進度及行業(yè)周期變化密切相關(guān)。

對于國內(nèi)半導(dǎo)體前道設(shè)備賽道而言，魯汶儀器的上市進程，也為細分特種刻蝕、離子束工藝設(shè)備國產(chǎn)化提供了又一觀察樣本。