北京計(jì)算光刻龍頭要IPO了！擬募資25億

芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
作者 ZeR0
編輯 漠影

芯東西7月1日?qǐng)?bào)道，6月30日，北京集成電路量檢測(cè)設(shè)備與制造類EDA軟件公司東方晶源科創(chuàng)板IPO獲受理。

東方晶源有限成立于2014年2月，由津西投資出資設(shè)立，2023年5月變更為股份有限公司，是國家級(jí)專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)和國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，為芯片制造提供一體化良率解決方案。

以計(jì)算光刻為核心的制造類EDA軟件，是芯片制造的“大腦”。

計(jì)算光刻軟件是90nm及以下制程集成電路制造的必備軟件，能夠提高光刻成像質(zhì)量和晶圓制造良率，是技術(shù)含量最高、國產(chǎn)化率最低、對(duì)產(chǎn)線影響最深遠(yuǎn)的EDA軟件品類之一，市場(chǎng)主要被西門子EDA、新思科技和睿初科技三家國際龍頭企業(yè)占據(jù)。

東方晶源的制造類EDA軟件主要用于研發(fā)光刻工藝、提升光刻分辨率以及擴(kuò)大光刻工藝窗口。

其計(jì)算光刻軟件PanGen技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先，可提供全套計(jì)算光刻解決方案，已在國內(nèi)知名的邏輯芯片及存儲(chǔ)芯片產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，性能達(dá)到國際先進(jìn)水準(zhǔn)，打破了國際廠商對(duì)計(jì)算光刻軟件的壟斷。

不同于其他同類軟件，PanGen軟件建立在CPU+GPU混合超算架構(gòu)之上，并在多個(gè)產(chǎn)品模塊引入AI技術(shù)，也是全球最早實(shí)現(xiàn)全芯片反向光刻的計(jì)算光刻工具之一。

量檢測(cè)設(shè)備是僅次于刻蝕及清洗設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備和光刻機(jī)的全球第四大半導(dǎo)體前道設(shè)備，直接關(guān)系到芯片制造的良率和工藝穩(wěn)定性，是芯片制造的“眼睛”。

東方晶源研發(fā)并在產(chǎn)線應(yīng)用多款電子束量檢測(cè)設(shè)備，是國內(nèi)電子束量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域產(chǎn)品布局最齊全的企業(yè)，安裝基數(shù)國內(nèi)領(lǐng)先。其主要產(chǎn)品已取得國內(nèi)頭部標(biāo)桿客戶的批量訂單。

迄今，東方晶源已初步完成電子束量檢測(cè)設(shè)備和計(jì)算光刻軟件的全面布局，客戶涵蓋了邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、第三代半導(dǎo)體、模擬芯片、功率芯片等多種芯片類型的制造廠商。

今年4月，東方晶源宣布與國內(nèi)某先進(jìn)存儲(chǔ)廠商達(dá)成深度戰(zhàn)略合作，簽署近2億元的長期戰(zhàn)略商業(yè)合同。

此次合作中，東方晶源將基于自研PanGen計(jì)算光刻平臺(tái)與全球首創(chuàng)的AI刻蝕模型PanGen vPWQ產(chǎn)品，助力客戶加速先進(jìn)存儲(chǔ)工藝節(jié)點(diǎn)的開發(fā)與迭代。

本次IPO，東方晶源擬募資25.00億元，用于高端半導(dǎo)體良率管理設(shè)備研發(fā)升級(jí)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、計(jì)算光刻和設(shè)計(jì)工藝協(xié)同優(yōu)化EDA工具研發(fā)升級(jí)項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

一、年收入超3億，尚未扭虧為盈

2023年、2024年、2025年，東方晶源營收分別為1.91億元、3.75億元、3.17億元，凈利潤分別為-2.39億元、-1.50億元、-4.78億元，研發(fā)費(fèi)用分別為2.55億元、3.26億元、3.00億元。

▲2023年~2025年東方晶源營收、凈利潤、研發(fā)支出變化（芯東西制圖）

該公司截至2025年末合并及母公司的未彌補(bǔ)虧損分別為9.98億元和8.66億元，預(yù)計(jì)最早可于2029年實(shí)現(xiàn)合并報(bào)表盈利。

2025年，其營收同比下降，主要受12吋CD-SEM產(chǎn)品迭代因素影響；有64.36%的營收來自集成電路量檢測(cè)設(shè)備，31.95%的營收來自制造類EDA軟件。

2023年、2024年、2025年，該公司綜合毛利率分別為67.50%、48.11%、39.70%，逐年下降。

同期，其量檢測(cè)設(shè)備的毛利率分別為31.89%、36.54%、21.12%，低于同行業(yè)集成電路設(shè)備公司中微公司、拓荊科技、華海清科、中科飛測(cè)、芯源微和盛美上海的毛利率。

其制造類EDA軟件毛利率分別為87.98%、77.47%、73.93%，低于同行業(yè)公司軟件業(yè)務(wù)毛利率平均值，主要系同行業(yè)公司EDA軟件和公司軟件應(yīng)用場(chǎng)景存在差異。

截至2025年末，東方晶源研發(fā)人員共361人，占員工總數(shù)的49.45%；擁有201項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利（包括148項(xiàng)境內(nèi)發(fā)明專利，53項(xiàng)境外發(fā)明專利）、60項(xiàng)授權(quán)實(shí)用新型專利、11項(xiàng)授權(quán)外觀設(shè)計(jì)專利。

二、坐擁四大量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品，已掌握7nm/5nm計(jì)算光刻技術(shù)能力

招股書顯示，東方晶源是全球最早倡導(dǎo)，也是迄今極少數(shù)將電子束量檢測(cè)設(shè)備與計(jì)算光刻軟件有機(jī)結(jié)合的公司。

自2014年創(chuàng)立之初，它便在集成電路行業(yè)設(shè)計(jì)與制造協(xié)同優(yōu)化（DTCO）構(gòu)想的基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了以“電子束量檢測(cè)和計(jì)算光刻”為核心技術(shù)的芯片設(shè)計(jì)制造全流程優(yōu)化方案（HPO），部分HPO軟件產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

該公司已推出多款自研的軟、硬件產(chǎn)品，形成了多元化的芯片制造良率提升工具布局。

其集成電路量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品包括CD-SEM（電子束關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備）、EBI（電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備）、DR-SEM（電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備）和HV-SEM（高能電子束設(shè)備）四款用于集成電路前道工藝的電子束量檢測(cè)設(shè)備。

• EBI設(shè)備是境內(nèi)首款成功研發(fā)并通過產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證的電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)入產(chǎn)線量產(chǎn)已超過5年，產(chǎn)品性能持續(xù)迭代，不斷取得新客戶訂單。
• HV-SEM已實(shí)現(xiàn)出機(jī)，正在進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證。
• 最新型號(hào)的CD-SEM和DR-SEM已取得客戶G的批量訂單，驗(yàn)證結(jié)果顯示東方晶源產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)與國際廠商主流設(shè)備相當(dāng)。

2023年-2025年，其集成電路量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)量及銷量情況如下所示：

東方晶源的制造類EDA軟件產(chǎn)品主要是計(jì)算光刻軟件等通過優(yōu)化改進(jìn)光刻工藝以提高晶圓制造良率的軟件。

計(jì)算光刻是基于光刻工藝模型，采用數(shù)學(xué)方法對(duì)光刻系統(tǒng)參數(shù)和工藝參數(shù)進(jìn)行獨(dú)立或綜合優(yōu)化設(shè)計(jì)，用于提高光刻成像精度、擴(kuò)大光刻工藝窗口（即提高對(duì)光刻工藝參數(shù)波動(dòng)的容忍度），以達(dá)到提高芯片制造良率、縮短芯片工藝研發(fā)周期、降低芯片制造成本的一類技術(shù)的總稱。

東方晶源計(jì)算光刻軟件產(chǎn)品PanGen 是以光刻工藝建模為基礎(chǔ)，以光學(xué)鄰近效應(yīng)修正（也叫掩模優(yōu)化，OPC）和光源掩模聯(lián)合優(yōu)化（IRO）兩大光刻優(yōu)化功能為核心，同時(shí)包含多重圖形拆分、設(shè)計(jì)規(guī)則檢查、光刻規(guī)則檢查等多種功能的整套軟件。

在邏輯芯片制造領(lǐng)域，其計(jì)算光刻軟件已應(yīng)用于28nm/22nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)，并已實(shí)現(xiàn)14nm工藝節(jié)點(diǎn)的試量產(chǎn)。

同時(shí)，該公司已掌握7nm/5nm等更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)計(jì)算光刻所需的全部關(guān)鍵技術(shù)能力，相關(guān)產(chǎn)品正在客戶端進(jìn)行驗(yàn)證。

在存儲(chǔ)芯片制造領(lǐng)域，東方晶源計(jì)算光刻軟件已應(yīng)用于25nm、1x nm工藝節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)，并已完成1y nm工藝節(jié)點(diǎn)的試量產(chǎn)；該公司亦已具備更先進(jìn)存儲(chǔ)工藝節(jié)點(diǎn)計(jì)算光刻所需的全套關(guān)鍵技術(shù)能力。

三、中車時(shí)代半導(dǎo)體、屹唐股份、燕東微是大客戶

報(bào)告期內(nèi)，前五大客戶中，光科芯圖為東方晶源參股公司，燕東微股份為東方晶源外部董事鄭浩擔(dān)任董事的企業(yè)，廣州增芯科技有限公司為東方晶源曾任董事張亮擔(dān)任董事的企業(yè)。

2023年、2024年、2025年，東方晶源來自前五大客戶的收入分別占主營業(yè)務(wù)收入的59.33%、58.46%、48.78%，客戶集中度仍然較高。

同期，其向五大供應(yīng)商采購金額占材料采購總額的比例分別為48.90%、51.32%、46.39%。

四、北航博士掌舵，曾是前ASML員工

截至招股書簽署日，東方晶源無控股股東，法定代表人、實(shí)際控制人俞宗強(qiáng)通過本人和創(chuàng)始人持股平臺(tái)中昌御聯(lián)及5個(gè)員工持股平臺(tái)（展微集才、中昌宏才、中昌菁才、中昌聚才、展微御聯(lián)）合計(jì)控制東方晶源32.8223%的股份對(duì)應(yīng)的表決權(quán)。

俞宗強(qiáng)出生于1961年，擁有機(jī)械工程專業(yè)博士學(xué)位，曾任北京航空航天大學(xué)自動(dòng)控制博士后、副教授，之后曾任Japan Microsystem系統(tǒng)架構(gòu)師、ULVAC項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、KLA高級(jí)工程師、Brion高級(jí)工程師、ASML全球產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)理、D2S高級(jí)經(jīng)理。

他在2014年2月至2023年5月期間先后任東方晶源有限董事兼總經(jīng)理、董事長，2023年5月至今任東方晶源董事長。

國有股東國鑫創(chuàng)投、深創(chuàng)投、中信建投投資、銀河源匯分別持股1.31%、0.92%、0.29%、0.29%。

現(xiàn)任董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員及核心技術(shù)人員最近一年在東方晶源領(lǐng)取薪酬情況如下：

結(jié)語：與境外廠商直接競(jìng)爭(zhēng)，利用AI優(yōu)化良率管理

長期以來，集成電路量檢測(cè)設(shè)備和計(jì)算光刻軟件被境外廠商所主導(dǎo)，國產(chǎn)廠商潛力巨大。

經(jīng)過持續(xù)的研發(fā)創(chuàng)新和技術(shù)積累，東方晶源的產(chǎn)品能力和市場(chǎng)影響力不斷提升，逐步實(shí)現(xiàn)了與境外廠商的直接競(jìng)爭(zhēng)。

該公司正在通過全芯片計(jì)算光刻與基于計(jì)算的量檢測(cè)設(shè)備兩大產(chǎn)品將軟硬件產(chǎn)品進(jìn)一步有機(jī)結(jié)合，二者相輔相成，形成一個(gè)自我強(qiáng)化的閉環(huán)。

通過本次上市，東方晶源計(jì)劃將軟硬件產(chǎn)品與通過AI建立的多層次工藝反饋模型進(jìn)行有機(jī)結(jié)合，為客戶提供可預(yù)測(cè)、可優(yōu)化的良率管理方案。