國內第一！江蘇半導體設備核心零部件龍頭沖刺IPO：大基金二期持股，擬募資25億

芯東西（公眾號：aichip001）
作者 陳駿達
編輯 心緣

芯東西7月1日報道，6月30日，國內等離子體電源系統龍頭神州股份科創板IPO獲受理。

神州股份成立于2016年，總部位于江蘇揚州。該公司以半導體制造關鍵工藝技術——等離子體源技術為基礎，為我國半導體先進制程產業鏈提供等離子體電源系統產品和技術支持服務。

根據市場調研機構恒州博智（QYResearch）的數據，2025年，中國大陸半導體領域遠程等離子體源系統的國產化率不足7%，神州股份在遠程等離子體源系統市場占有率排名國內企業第一，并在中國大陸等離子體電源系統技術支持服務市場中的市場份額排名第一。

2024年，神州股份被認定為國家級重點專精特新“小巨人”企業。

神州股份的股東陣容豪華。其前10大股東中，國家集成電路產業投資基金二期（簡稱“大基金二期”）持股4.7847%，英特爾亞太研發有限公司持股8.6125%、長存產業投資基金持股3.1818%。

此外，中微公司通過直接或間接方式合計持有神州股份3.2246%的股份；拓荊科技通過直接或間接方式合計持有神州股份1.9428%的股份；華虹二期基金（上海多家國資出資，長鑫科技出資比例7.0391%）直接持有神州股份1.36%的股份。

目前，神州股份的等離子體電源系統產品已經批量導入中微公司、拓荊科技、北方華創等國內頭部半導體設備廠商，可適配14納米及以下邏輯芯片、2XX層及以上存儲芯片等先進制程產線。

技術支持服務方面，神州股份是國內規模領先的等離子體電源系統專業技術支持服務商，相關服務已經覆蓋臺積電、英特爾、三星電子、SK海力士、美光、德州儀器、華潤微等國內外主流芯片產線，以及應用材料、中微公司、拓荊科技、北方華創等國內外知名半導體設備廠商。

本次IPO，神州股份擬募資25.22億元，用于先進工藝節點集成電路領域電源類零部件研發及產業化項目、技術支持服務體系升級擴容項目、上海產業化基地建設項目、技術研發創新中心建設項目以及補充流動資金。

一、自研產品營收暴漲1570%，主營業務收入高度集中于半導體行業

在半導體領域，等離子體源技術是實現半導體芯片先進制程的必要技術手段。等離子體電源系統是等離子體源技術的核心載體，可通過電源系統參數的精準調控，在極短時間內實現對等離子體的精確控制，進而驅動等離子體完成刻蝕、薄膜沉積、離子注入等半導體關鍵工藝。

神州股份的主要自研產品包括等離子體射頻電源系統、遠程等離子體源系統、高壓脈沖電源系統等，同時，也為全球主要芯片產線提供等離子體電源系統的檢測、維修和性能升級等技術支持服務。

2023年、2024年、2025年，神州股份營收分別為2.61億元、4.46億元和6.54億元，凈利潤分別為-0.15億元、1.54億元和2.29億元，研發費用分別為0.37億元、0.58億元和1.09億元。

▲神州股份營收、凈利潤與研發費用變動（芯東西制表）

神州股份主營業務收入由自研產品銷售、技術支持服務、零部件銷售及其他、受托研發四類構成，整體呈快速增長態勢，總額從2023年的2.58億元增至2024年的4.38億元，并于2025年進一步攀升至6.42億元。報告期內，其自研產品銷售所貢獻的營收規模、占比大幅度上升，2025年該業務貢獻了神州股份55.11%的營收，營收規模2年內暴漲約1570%。

▲神州股份主營業務收入構成變動（芯東西制表）

按應用領域來看，神州股份主營業務收入高度集中于半導體領域。報告期內，半導體領域收入占比始終在85%以上，且逐年攀升，2025年該領域收入達6.13億元，占主營業務收入的95.38%，顯示、光伏及其他領域的收入合計占比不足5%。

報告期內，神州股份主營業務的毛利率分別為62.56%、66.94%、66.65%。自研產品是其毛利率最高的產品，報告期內毛利率分別為60.17%、69.63和71.37%。

與恒運昌、英杰電氣、先鋒精科、富創精密等同行業可比公司相比，神州股份的毛利率處于業內較高水平，且領先優勢較為明顯。這是由于神州股份聚焦于高技術附加值、高研發難度、高毛利率的先進制程領域。

二、填補國產高端等離子體電源系統應用空白，研發人員占比24.46%

在半導體等離子體電源系統領域，神州股份是中國大陸產品布局較為全面、技術較為先進的企業之一，其自研的多款等離子體電源系統產品已批量應用于我國先進制程芯片產線，填補國內高端等離子體電源系統的應用空白。

神州股份的大部分產品都應用于先進制程。其等離子體射頻電源系統產品的主要情況如下：

其遠程等離子體源系統主要情況如下：

除已實現商業化的產品外，報告期內，神州股份完成了ESC吸附電源、ESC加熱電源、濺射電源等多項儲備產品的研發布局，相關產品已處于客戶驗證階段。

截至2025年末，神州股份擁有124名研發人員，研發人員占比24.46%。該公司公司共取得授權專利107項，其中發明專利62項。

三、客戶集中度較高，多家大客戶持股

神州股份向國內外多家知名半導體公司與半導體設備公司銷售其產品與服務，報告期內，其客戶集中度不斷上升。神州股份的前五大客戶如下：

神州股份的多家大客戶都持有其股份。英特爾通過其投資平臺英特爾亞太持有神州股份8.6125%的股份，報告期內，神州股份主要為英特爾大連工廠提供技術支持服務。2025年9月，英特爾將大連工廠出售給了SK海力士，神州股份繼續向SK海力士大連工廠提供相關技術支持服務。

中微公司通過全資子公司中微半導體（上海）直接持有神州股份1.3636%的股份，并參股智微厚德、智微攀峰，間接持有1.8610%的股份。

拓荊科技通過全資子公司上海巖泉直接持有神州股份1.7861%的股份，并參股拓荊芯鏈，間接持有0.1567%的股份。

供應商方面，神州股份采購的原材料包括電源系統備機類、模組類、電子料件類、電容類、功率器件類、結構件、五金件類和腔體類等。其前五大供應商如下：

四、創始人控制64.74%表決權

截至今年6月，神州股份的股權結構圖如下：

神州股份的股東陣容豪華，除了此前提到的英特爾、中微公司、拓荊科技之外，大基金二期持有該公司4.78%的股份，長存產業基金（長江存儲旗下投資平臺在其中持股11.26%）持有該公司3.18%的股份。

神州股份的董事長、總經理、法定代表人朱培文直接持有神州股份21.1682%的股份，并通過員工持股平臺眾芯聚能間接控制23.2535%的股份，還通過《一致行動人協議書》控制20.3183%的股份，合計控制64.74%的股份對應的表決權，是神州股份的實際控制人。

朱培文出生于1975年，研究生學歷。2001年7月至2022年2月，他在揚州市神州科技有限公司（2022年2月已注銷）擔任執行董事、總經理；2016年4月至今，歷任神州股份總經理、董事長。

結語：國產半導體設備與制造產業成熟度上升，上游零部件廠商受益

近年來，隨著國內半導體“卡脖子”領域技術攻關持續推進，我國半導體設備與半導體制造產業已實現規模化突破，各細分領域布局持續完善，協同發展的正向循環已初步形成。

中游設備與制造環節的持續成熟，為神州股份這樣的上游半導體零部件及技術支持服務企業提供了廣闊的市場空間與規模化驗證土壤。

未來，神州股份計劃以“先進工藝節點集成電路領域電源類零部件研發及產業化項目”為核心載體，攻克關鍵技術，同時重點布局技術成熟度高、附加值高、市場需求明確的等離子體電源系統產品的產業化生產，優化生產布局與供應鏈協同，提升產品量產一致性與交付效率，為承接國產化替代訂單提供產能支撐。