上海
近日，國內首個實現8英寸MEMS晶圓量產的生產線——安徽華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動生產線投產運行。該項目半導體廠房專屬通風系統由嘉定企業英飛同仁風機股份有限公司量身打造，精準滿足高端半導體智造的嚴苛環境標準，如同會呼吸的“肺”，為國產MEMS芯片生產保駕護航。
效果圖
據悉，該項目總投資50.6億元，已建成8.7萬平方米的智能化廠房，量產慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等核心產品。其中，半導體廠房對生產環境的潔凈度、穩定性、安全性、降噪性有著行業極致嚴苛的標準，通風系統作為廠房環境調控的核心配套，直接決定生產線良品率與生產安全，是該項目建設的核心難點。
對此，英飛同仁針對MEMS芯片制造的特殊工況與專屬需求，量身匹配定制化通風解決方案，搭載最新自主研發的防爆型管道離心風機、邊墻軸流排風機、箱式離心風機等多款自研專用設備，全方位適配半導體廠房不同功能區域的通風剛需，精準解決高端智造場景的通風凈化、防爆降噪、穩定排風等難題。
“半導體晶圓生產對環境精度要求極高，隱蔽在廠房各處的通風設備，就像是人呼吸時候的‘肺’，每一處氣流調控都容不得半點偏差。”英飛同仁總裁張勁戈介紹，主力應用的YFISQ管道離心風機搭載有“翔欣”五代后傾離心葉輪，好比風機的“動力心臟”，可有效減少空氣紊流、降低運行噪音。同時，方形無蝸殼結構機身小巧、重量輕便，兼顧高效運行與長期穩定性能，可適配半導體廠房持續作業需求。
“未來，企業將持續迭代升級定制化通風解決方案，以更優質的產品品質、更完善的服務體系，賦能半導體產業智能化、綠色化、自主化升級，共創高端綠色智造新未來。”張勁戈表示。
通訊員： 毛佳凱
編輯：楊玉潔
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