若無光刻膠，光刻機(jī)將淪為一堆“廢鐵”，我國將如何應(yīng)對？

導(dǎo)讀：若無光刻膠，光刻機(jī)將淪為一堆“廢鐵”，我國將如何應(yīng)對？

此前，日本東北部海域發(fā)生了里氏7.7級強(qiáng)烈地震，震源所在區(qū)域涵蓋了全球半導(dǎo)體材料的高密度聚集地帶。受此次地震影響，全球最大的光刻膠廠商東京應(yīng)化（TOK）位于該區(qū)域的工廠全面停止生產(chǎn)，信越化學(xué)福島白河工廠也隨之停工。

據(jù)估算，這兩大工廠在全球高端光刻膠（如ArF、EUV等）產(chǎn)能中合計(jì)占比近45%，預(yù)計(jì)停工時(shí)長為4至8周。一場天災(zāi)，使得全球芯片供應(yīng)鏈再度面臨緊張局勢：關(guān)鍵材料過度依賴單一來源，所蘊(yùn)含的風(fēng)險(xiǎn)極高。在半導(dǎo)體行業(yè)，曾流傳著這樣一句話：若無光刻膠，光刻設(shè)備將淪為一堆廢鐵。

光刻膠這東西，在光刻工藝?yán)锬强墒巧倭怂恍?。它的配比工藝?yán)蠌?fù)雜了，保質(zhì)期就只有6個(gè)月，沒法長時(shí)間大量存著。它就像是給芯片涂的一種特殊涂料，主要作用就是成像。要是光刻膠供應(yīng)斷了，那再高端的芯片也是一堆沒用的廢渣。

我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)被西方“卡脖子”都好長時(shí)間了，光刻膠一直得靠進(jìn)口，高端光刻膠咱自己能生產(chǎn)的比例連5%都不到。2024年的時(shí)候，日本官方花了比市值高30%的大價(jià)錢把光刻膠巨頭JSR給收購了，還收歸“國有”。再加上信越化學(xué)、東京應(yīng)化這些日本企業(yè)一直深耕這個(gè)領(lǐng)域，日本在高端光刻膠這塊，占了全球差不多90%的份額。

在全球半導(dǎo)體市場里，光刻膠的產(chǎn)值占比連1%都不到，專門生產(chǎn)光刻膠的企業(yè)也特別少。以前啊，日本就利用自己在光刻膠供應(yīng)上的優(yōu)勢，給韓國施壓。那時(shí)候日韓關(guān)系不好，日本限制往韓國出口光刻膠，把三星新一代芯片的良品率搞得一度只有10%。

此類風(fēng)險(xiǎn)，我們亦難以回避。往昔，日本企業(yè)掌控著全球近九成的光刻膠市場，而我國g線、I線光刻膠的自給率僅為20%，更高端的KrF光刻膠自給率不足5%，高端原料基本依賴進(jìn)口。倘若供應(yīng)出現(xiàn)意外狀況，無論是政策政令的變動，還是自然災(zāi)害的影響，國內(nèi)晶圓廠均可能面臨生產(chǎn)線停擺的風(fēng)險(xiǎn)。

面對潛在的斷供威脅，我們并未消極以待。事實(shí)證明，唯有打破對進(jìn)口的依賴，中國芯片產(chǎn)業(yè)方能突破重重桎梏。在堅(jiān)持自主研發(fā)的道路上，南大光電已有6款A(yù)rF光刻膠通過驗(yàn)證并投放市場，2025年該品類收入超2000萬元；武漢太紫微自主研發(fā)的T150A光刻膠成功通過中芯國際28nm產(chǎn)線驗(yàn)證，分辨率達(dá)到120nm，良品率達(dá)93.7%，性能超越國外同級別產(chǎn)品；鼎龍股份年產(chǎn)300噸KrF/ArF高端光刻膠生產(chǎn)線也已投入生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了從核心原材料到成品光刻膠的全鏈條自主制造。

需指出的是，這些成果并非個(gè)例。在更為廣泛的科技領(lǐng)域，我國正不斷上演著從追趕、并跑到領(lǐng)跑的精彩篇章。不僅如此，從DeepSeek的迅猛崛起，將中美AI頂尖模型的性能差距從10%壓縮至2.7%（依據(jù)斯坦福2026 AI指數(shù)報(bào)告數(shù)據(jù)），到航空航天、新能源、高鐵等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)反超，此類突破在歷史進(jìn)程中持續(xù)涌現(xiàn)。

從光刻膠領(lǐng)域到人工智能，從生物科技范疇到新能源行業(yè)，國內(nèi)企業(yè)的追趕與超越進(jìn)程正在全方位鋪開?；仡欗n國的發(fā)展歷程，曾經(jīng)該國八成的光刻膠需依賴從日本進(jìn)口，然而在外部壓力的倒逼下，韓國企業(yè)最終毅然選擇自主研發(fā)之路，并逐步減少直至擺脫對日本的依賴，日本也于2023年3月取消了此前實(shí)施的出口限制措施。

歷史已然清晰證明：過度依賴他國，終究會陷入受制于人的被動局面；唯有堅(jiān)持自主創(chuàng)新，方可牢牢掌握自身命運(yùn)走向。當(dāng)下，伴隨全球多個(gè)國家持續(xù)推進(jìn)光刻膠的自主研發(fā)工作，日本在光刻膠這一領(lǐng)域的絕對主導(dǎo)地位正面臨著前所未有的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。這一態(tài)勢也預(yù)示著，未來半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的格局，將不再由單一國家所主宰。