恢復(fù)中國國籍！中國刻蝕機(jī)之父：我們現(xiàn)在已有能力做最先進(jìn)的設(shè)備

在央視財經(jīng)最新播出的《對話》節(jié)目中，82歲的中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長尹志堯表示"我們現(xiàn)在已經(jīng)有能力來做最先進(jìn)的設(shè)備"。

這位被譽(yù)為"中國刻蝕機(jī)之父"的老人，在2024年悄然恢復(fù)了中國國籍，用行動詮釋了一位科學(xué)家對祖國的赤子之心。

一、放棄百萬年薪，硅谷精英歸國創(chuàng)業(yè)的傳奇

尹志堯的人生軌跡，本身就是一部半導(dǎo)體行業(yè)的奮斗史詩。

1944年出生于北京的他，1962年考入中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，1978年進(jìn)入北京大學(xué)攻讀碩士，隨后前往加州大學(xué)洛杉磯分校深造，獲得物理化學(xué)博士學(xué)位。

在硅谷的20年，他從英特爾工藝工程師做起，歷任泛林半導(dǎo)體研發(fā)部資深經(jīng)理、應(yīng)用材料公司副總裁兼等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理，手握86項(xiàng)美國專利和200多項(xiàng)國際專利，被譽(yù)為"硅谷最有成就的華人之一"。

2004年，60歲的尹志堯做出了一個震驚業(yè)界的決定——放棄百萬美元年薪，回國創(chuàng)業(yè)。

更令人動容的是，他要求所有回國員工"不許帶文件，用空白電腦從頭開始"，這份從零起步的決心，為中微公司奠定了堅(jiān)持自主創(chuàng)新的基因。

當(dāng)時，中國半導(dǎo)體設(shè)備幾乎完全依賴進(jìn)口，刻蝕機(jī)作為芯片制造中最關(guān)鍵、難度最高的設(shè)備之一，更是被美日企業(yè)壟斷。

二、刻蝕機(jī)突圍，躋身全球第一梯隊(duì)

刻蝕工藝，簡單來說就是在頭發(fā)絲直徑幾千分之一到上萬分之一的尺度上，利用離子轟擊和活性粒子反應(yīng)，在晶圓上去除部分材料的"微觀雕刻"技術(shù)。

中微公司專注于研發(fā)干法刻蝕（等離子體刻蝕）設(shè)備，開發(fā)了CCP和ICP系列單臺機(jī)與雙臺機(jī)，可覆蓋90%刻蝕應(yīng)用，幫助芯片制造商加工10nm、7nm甚至5nm及更先進(jìn)的微觀結(jié)構(gòu)。

2018年，中微自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)通過臺積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。

2021年，中微又成功研制出3nm蝕刻機(jī)，完成了原型機(jī)的設(shè)計、制造、測試及初步工藝開發(fā)，正式躋身國際第一梯隊(duì)，與泛林、應(yīng)用材料、東京電子等美日巨頭同臺競技。

截至2025年3月，中微公司刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺全球累計出貨超過5000臺，已被中芯國際、臺積電等客戶的芯片生產(chǎn)線廣泛采用。

三、大平板設(shè)備奇跡，12個月創(chuàng)造行業(yè)紀(jì)錄

在《對話》節(jié)目中，尹志堯透露：2023年12月，中微決定進(jìn)入大平板設(shè)備領(lǐng)域，此前該領(lǐng)域大概有17種工藝設(shè)備全部依賴進(jìn)口。

這種用于OLED8.6代線的大平板PECVD設(shè)備重達(dá)150噸，長15米寬15米，有兩層半樓高，按照行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，開發(fā)周期至少需要3-7年。

但中微的精銳團(tuán)隊(duì)創(chuàng)造了奇跡——只用12個月就從一張白紙做出了可運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，不到4個月就達(dá)到客戶下一代要求，18個月就運(yùn)到生產(chǎn)線上并通過核準(zhǔn)，達(dá)到客戶生產(chǎn)線±5%薄膜厚度均勻性要求，填補(bǔ)了國內(nèi)在該領(lǐng)域的技術(shù)空白。

尹志堯自豪地表示："這在全球半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展史上都是罕見的速度"。

四、恢復(fù)中國國籍的“赤子之心”

2026年1月8日，中微公司發(fā)布的一份減持公告引發(fā)廣泛關(guān)注，公告顯示尹志堯計劃減持不超過29萬股，占公司總股本0.046%，原因?yàn)?本人已從外籍恢復(fù)為中國籍，為依法辦理相關(guān)稅務(wù)的需要"。

這是尹志堯恢復(fù)中國國籍的首次“官宣”，此前中微公司2022年年報顯示他為美國國籍，2024年年報中已變更為中國國籍。

2月11日，尹志堯提前終止減持計劃，公告顯示已通過集中競價方式累計減持20.84萬股，占總股本0.033%，套現(xiàn)金額約7246萬元，“鑒于目前辦理相關(guān)稅務(wù)的資金需求已基本滿足”。

對于這位82歲的老人而言，恢復(fù)中國國籍絕非形式上的改變，而是一種精神歸屬的回歸，正如他在節(jié)目中所說："我這一輩子，就是想為中國做一點(diǎn)實(shí)實(shí)在在的事情"。

五、國產(chǎn)設(shè)備崛起，需要勇氣與包容

中芯國際創(chuàng)始人、中國“半導(dǎo)體之父”張汝京在《對話》中，對中微設(shè)備的應(yīng)用給出了客觀評價：“試新的設(shè)備一定會有風(fēng)險，但是我們試的時候不會貿(mào)然試很多，就是小批量的，先試5片、25片，再就是50片、100片，而且時間蠻長的，雙方都要負(fù)責(zé)”。

他特別提到，中微設(shè)備給中芯國際時，他們并沒有付錢，這是中微投資者的支持，但測試時芯片和時間成本由中芯國際負(fù)責(zé)，“大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來”。

張汝京的話道出了國產(chǎn)設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵：“如果沒有人使用國貨，怎么會進(jìn)步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要覺得我一試不好，不用了”。

正是這種相互信任、相互支持的產(chǎn)學(xué)研用生態(tài)，讓中微等國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)得以快速成長，也讓中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐步擺脫對國外設(shè)備的依賴。

從放棄美國國籍恢復(fù)中國籍，到帶領(lǐng)中微打破國外壟斷，尹志堯用22年的堅(jiān)守，書寫了中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的逆襲故事。

他在《對話》節(jié)目中的那句"我們現(xiàn)在已經(jīng)有能力來做最先進(jìn)的設(shè)備"，不僅是對中微公司技術(shù)實(shí)力的自信宣言，更是對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力的有力證明。